
探针台(Prober)是半导体测试和材料研究中常见却容易被误解的设备。简单说,它的作用是用细小的探针(probe)精准接触芯片或晶圆的电极焊盘,把电信号引出来做测量。没有探针台,芯片内部的晶体管性能就"测不到"。
一块晶圆上有几百到上千颗裸芯片(die)。在封装前,需要先筛选良品——这一步叫 CP 测试(Chip Probing)。探针台把多根探针同时扎到一颗 die 的焊盘上,配合测试机(Tester)施加电压/电流并读取响应,判断该 die 是否合格。科研场景下,探针台还用于单器件 I-V 特性、光电响应、低温输运等表征。
| 设备 | 职责 |
|---|---|
| 探针台 | 机械定位 + 扎针 + 提供温区/真空环境 |
| 测试机(Tester) | 产生激励信号、采集测量数据 |
两者配合:探针台负责"对得准、扎得稳",测试机负责"测得准"。
A:探针台用探针精准接触芯片焊盘,把电信号引出来配合测试机做电学测量,主要用于半导体 CP 测试和科研晶圆/器件表征。
A:探针台负责机械定位、扎针和提供温区/真空环境;测试机负责产生激励并采集数据。前者"对得准",后者"测得准"。
A:需要在真空/低气压、高低温或惰性气氛下测试敏感器件时使用,例如场发射、真空输运、低温输运和防氧化测试。
A:重点看定位精度(±1–2 μm 科研级)、探针数、温区范围(常温/高低温/真空)和可测样品尺寸。