配气仪（又称自动配气仪、气体配比仪）是把多路气源按比例混合成目标浓度气体的设备。很多用户在选型时只问"精度多少"，但配气仪的精度并不是一个孤立数字——它由四个环节共同决定。本文直接给出结论：在 2%–100% F.S. 量程内，设计良好的配气仪可把配比误差稳定控制在 ±1% S.P.（设定点精度），关键在于 MFC 线性度、温压补偿、气路死体积和标定一致性。
| 因素 | 影响方式 | 典型指标 |
|---|---|---|
| MFC 线性度 | 流量控制器本身的测量与控制偏差，是精度上限 | ±0.5%–1% F.S. |
| 温压补偿 | 气体密度随温压变化，未补偿会引入系统误差 | 补偿后误差 <±0.5% |
| 气路死体积 | 混合腔与管路容积越大，响应越慢、滞后越明显 | 建议 <50 mL |
| 标定一致性 | 各通道用同一标准标定，避免通道间偏差叠加 | 年漂移 <±0.5% |
配气仪每一路气体都由一台质量流量控制器（MFC）精确设定流量，总流量与各路流量之比即为配比。例如要配制 5% H₂ / 95% N₂，只需设定 H₂ 通道 5 SCCM、N₂ 通道 95 SCCM，总流量 100 SCCM。MFC 的线性度直接决定单路精度，因此配气仪厂商通常会选用 ±1% F.S. 以内 的高线性 MFC。
质量流量控制器的读数基于标准状态（0℃、1 atm）下的气体质量流量。当实验室温度波动或入口压力变化，真实体积流量会偏移。配气仪通过内置温压传感器 + 补偿算法实时修正，使配比不受环境干扰。以江麦 QLG25 配气仪为例，其采用闭环反馈：MFC 实际流量被实时回馈并与设定值比对，偏差超过阈值立即修正，形成"设定—测量—修正"的闭环。
配比从一种浓度切换到另一种，需要先把管路里旧气体吹扫干净。死体积越小，切换越快。设计上配气仪会尽量缩短混合腔容积、采用小口径不锈钢管，使浓度稳定时间控制在 数秒到数十秒 量级，满足梯度实验需求。
A：设计良好的自动配气仪在 2%–100% F.S. 量程内配比误差可稳定控制在 ±1% S.P. 以内，远高于浮子流量计的 ±5% F.S.。
A：MFC 是配气仪的核心执行部件。配气仪 = 多台 MFC + 混气腔 + 温压补偿 + 控制系统，MFC 负责单路精确流量，配气仪负责多路配比合成。
A：常规惰性/活性气体（N₂、Ar、H₂、CO₂、Air 等）均可；含 NH₃、Cl₂、H₂S 等腐蚀性组分需选用金属密封通道并提前确认兼容性。
A：会缓慢漂移，建议每年返厂或自校准一次。日常可用皂膜流量计抽查单通道流量，偏差超 ±1% 即需标定。
