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QLG25智能配气仪

QLG25高精度智能配气仪将气体质量流量控制器和控制单元集成一体,体积小巧,可一键配气。可以根据用户气体浓度进行配置。广泛应用于管式炉、真空镀膜设备、催化实验、环境检测与分析设备化工、石化、冶金、等需要气体检测和控制的场所。

特点:

  • 一键配气功能,无冗余操作

  • 提供2~4个配气通道

  • 可拓展至5~8个配气通道

  • 可增加出气口压力表显示

  • 可增加远程控制功能

  • 操作简单,界面一目了然

  • 可扩展性强,可定制多种组份气体通道

  • 高精度质量流量控制器,配气输出精度高

用途:

QLG25高精度智能配气仪将气体质量流量控制器和控制单元集成一体,体积小巧,可一键配气。可以根据用户气体浓度进行配置。广泛应用于管式炉、真空镀膜设备、催化实验、环境检测与分析设备化工、石化、冶金、等需要气体检测和控制的场所。

产品指标:

项目

QLG25

满量程值(以N2标定)

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

(0~1,2,3,5,10,20,30)SLM(超过30SLM需定制)

质量流量控制器准确度

±1%F.S.(20,30SLM: ±2% F.S.)

可选:±1%S.P.

质量流量控制器线性度

±0.5%F.S.(20,30SLM: ±2% F.S.)

质量流量控制器重复精度

±0.2%F.S.

响应时间

≤2 sec可选≤1 sec

工作压差范围

≤10SLM:0.1~0.5Mpa(14.5~72.5PSI)

10SLM:0.1~0.3MPa14.5

≤10SLM:0.1~0.5Mpa(14.5~72.5PSI)

10SLM:0.1~0.3MPa

压力显示

可选:出气口增加压力表显示

远程控制

可选:远程(手机APP或电脑)操控流量计

耐压

3Mpa(可选10Mpa)

输入信号

0V+5V

工作环境温度

5℃~45℃

进出口连接规格

3mm、6mm、1/81/4,卡套接头(可根据要求定制)

预热时间

5 min

电源

220V 50HZ

外形尺寸

≤4通道:480*360*400(长*高*深)(单位mm