在半导体芯片、MEMS、气敏元器件、LED 与新型光电材料的研发与质检中，真空、高低温、高精度接触是决定测试数据可信的三大核心条件。普通探针台无法隔绝空气干扰、不能模拟极端温度，导致数据漂移、样品氧化、漏电偏大，严重影响研发结论与出货品质。江麦智能 VS21 真空探针台，以高真空 + 超宽温域 + 精密三轴定位 + 显微观测一体化设计，为微纳器件与新材料提供稳定可控的极端环境测试平台，成为高校实验室、研究院所与半导体企业的标配测试装备。
VS21 是一款高低温真空型探针测试平台，主要用于芯片、气敏元器件、薄膜材料、光电 / 光伏器件在真空或可控气氛下的电学性能测试，也可开展材料物性分析。典型应用覆盖：
半导体晶圆 / 芯片电学参数测试（IV、CV、电阻率等）
气敏传感器灵敏度、响应特性测试
LED、LCD、太阳能电池光电性能与可靠性测试
新型材料、二维材料、超导材料低温 / 高温物性研究
集成电路、功率器件高低温老化与可靠性验证可满足物理研究、材料分析、器件研发、产线质检全流程需求，是微纳电子与先进材料领域的关键测试设备。
VS21 采用液氮制冷 + 电阻加热复合控温，温控范围83K–623K，可快速覆盖低温、室温至高温全区间。搭载 PT100 铂电阻与高精度 PID 算法，控温精度达 ±0.25℃，分辨率 0.1℃，升温速率最高 20℃/min，常温降至 80K≤30 分钟，温度均匀性优异，真实模拟器件极端工况表现。
腔体采用化学镀镍铝双腔体结构，密封可靠、真空表现优异。搭配 Leybold 90L/s 分子泵机组，极限真空可达6×10⁻⁸mbar（6×10⁻⁶Pa），可有效避免：
低温下水汽结露导致漏电偏大、接触不良
高温下氧气氧化样品，造成电性偏差与结构形变
空气介电损耗与电磁干扰，保障微弱信号测试稳定。
探针臂采用自锁丝杠 + 交叉滚子导轨结构，定位精度 10μm，探针漂移优于 ±60nm/30mins，X/Y/Z 行程分别为 25mm/25mm/18mm，可精准对准微纳电极。探针自带弹簧缓冲结构，有效防止划伤芯片与样品表面；搭配三轴高屏蔽线缆，漏电测试精度可达100fA，满足极低电流高精度测试需求。
配备可调式显微观测机构，放大倍率0.75–5.25X，可自由调节视角与高度，清晰观测探针接触状态与样品表面细节。整机结构紧凑、体积小巧、摆放灵活，可与各类电学测试仪器无缝集成，支持快速装样、快速抽真空、快速变温，大幅提升实验效率。
样品台：2 英寸不锈钢，平整度 5μm
温控范围：83K–623K（液氮制冷）
控温精度：±0.25℃，分辨率 0.1℃
真空度：6×10⁻⁸mbar（配分子泵组）
三轴行程：X/Y=25mm，Z=18mm
探针定位精度：10μm
腔体材质：化学镀镍铝双腔体
整机尺寸：620×400×260mm（带显微镜）
供电：220V AC 50Hz
环境真实可控：真空 + 高低温协同控制，贴近器件实际工况，数据更可信。
测试精度更高：低漏电、低漂移、高重复性，满足高端科研与出厂质控要求。
稳定耐用易维护：优质密封与管路设计，漏率低、寿命长、日常维护简单。
模块化可扩展：支持探针夹具、真空系统、温控模块选配，适配多场景升级。
国产高性价比：对标进口设备性能，交付更快、售后更及时、综合成本更低。
高校 / 科研院所：物理、材料、电子、微电子等实验室
半导体企业：芯片、功率器件、集成电路研发与质检
传感器厂商：气敏、温湿度、MEMS 器件性能测试
光电 / 新能源企业：LED、LCD、太阳能电池、薄膜电池测试
第三方检测机构：材料分析、器件可靠性与失效分析
真空、温度、精度，是微纳器件测试的 “生命线”。江麦智能 VS21 真空探针台以高真空、宽温域、精定位、低漏电、易操作，为半导体、新材料、传感器、光电领域提供一站式可靠测试解决方案，助力研发突破与品质升级。无论是基础科研探索，还是工业化产线质检，VS21 都能以稳定表现输出可信数据，成为高端测试的理想选择。
