分子泵是精密而"娇贵"的设备：转速上万转，转子与定子之间的间隙极小。正确的开关机流程能让它用很多年，错误的顺序则可能一次就造成损伤。其中最典型的一条禁忌是——在高真空状态下直接断电。
本文把完整的流程讲清楚。
分子泵（涡轮分子泵）依靠高速旋转的叶片把动量传递给气体分子，实现定向抽气。但它不能从大气压直接启动，原因有两点：
所以必须先由前级泵（旋片泵、干泵等）把腔体抽到一定的预真空度，分子泵才能切入。
| 阶段 | 压力范围（参考） | 负责设备 |
|---|---|---|
| 大气 → 粗真空 | 10⁵ → 10⁰ Pa 量级 | 前级泵（旋片泵/干泵） |
| 切入分子泵 | 通常要求 ≤10 Pa 量级（以说明书为准） | 分子泵启动 |
| 高真空 | 10⁻¹ → 10⁻⁵ Pa 及以上 | 分子泵 |
| 检查项 | 要求 | 不检查的后果 |
|---|---|---|
| 腔体密封 | 所有法兰、观察窗、接口已紧固 | 永远抽不到目标真空度 |
| 前级泵状态 | 油位正常、无泄漏 | 预真空抽不到位，泵无法切入 |
| 冷却系统 | 水冷已通且流量足够，或风冷通道畅通 | 过热保护、轴承损伤 |
| 气体负载 | 确认进气阀关闭，无明显放气源 | 过载停机 |
| 电源与控制 | 接线正确、控制器显示正常 | 启动失败或报警 |
| 泵体外观 | 无异常声音残留、无撞击痕迹 | 带伤启动扩大损坏 |
很多新手觉得"真空度怎么一直不到"。这多半不是泵的问题，而是腔体内壁吸附的水汽和杂质在缓慢释放。新开腔、刚换过样品、湿度大的天气会更明显。耐心等待往往比急着去调设备更有效。
这一节是重点。停机顺序错了容易出大问题。
如果在分子泵还在高速旋转且腔体处于真空状态时直接断电：前级泵一停，其返流（尤其是旋片泵的油蒸气）会顺着管路反向扩散，污染已经被抽干净的腔体；同时分子泵在高转速下失去控制地惰转，也不是正常状态。"先隔离，再停机"是核心原则。
| 情况 | 处理 |
|---|---|
| 运行中突然停电 | 立即关闭高真空阀；恢复供电后按正常启动流程重来 |
| 需要短暂更换样品 | 可只关高真空阀、保持分子泵运行，腔体单独放气 |
| 抽腐蚀性/粉尘气体 | 需按要求做气体冲洗或氮气吹扫，并缩短维护周期 |
| 泵体异常振动/异响 | 立即停机检查，不要带病运行 |
| 长期不用 | 见下节 |
| 记录项 | 用途 |
|---|---|
| 每次启动/停止时间 | 统计运行时长 |
| 达到的极限真空度 | 判断泵性能是否衰退 |
| 抽气时间（从大气到目标） | 同上，早期发现慢漏 |
| 冷水温度/流量 | 排查过热类故障 |
| 异常情况与处理 | 便于后续追溯 |
这组数据最大的价值在于：当真空度抽不上去时，能和历史数据对比，快速判断是漏还是泵的性能衰退。
先按"漏 / 放气 / 泵衰减"三类排查。漏：用检漏方法查法兰与接头；放气：腔体刚开过或内壁脏、有水汽，延长抽气时间看是否持续变好；泵衰减：对比历史记录的极限真空度，明显变差则可能需要维护。
绝对不行。任何开腔操作都必须在停泵、放气、确认为常压之后进行。在真空下强行打开不但会损坏密封，还可能因压差造成危险。
现代分子泵通常有温度保护，过热会自动停机报警，一般不会立刻损坏。但频繁触发保护装置对寿命有影响，更重要的是要养成"先开水、再开机"的习惯。
