江麦智能 VS21 真空探针台测试仪是一款集宽温区控温、高精度定位、高真空环境于一体的专业测试设备，主打精密小巧、易搬运的特性，核心用于芯片、气敏元器件等产品在不同气氛环境下的电学性能测试，也可满足材料分析需求。产品广泛适配半导体电学性能测试、物理研究、气敏分析、集成电路、LED、LCD、太阳能电池等行业的制造与研究环节，是相关领域高精度测试的核心配套设备。
搭载多规格高低温控制系统，温控范围覆盖 -190℃～450℃，常温至 450℃高温段控制精度可达 ±0.25℃，低温段最高精度 ±0.5℃，分辨率均为 0.1℃，进口温控模块加持，可精准模拟不同温度环境，满足各类元器件、材料的高低温性能测试需求。
配备 XYZ 三轴位移座，位移范围 X±12.5mm、Y±12.5mm、Z±10mm，实现被测样品的精准定位调节，搭配不同规格探针夹具，可完成高精度触点测试，适配芯片、半导体等微小元器件的精细化测试要求。
支持多规格真空系统选配，从机械泵（真空度 1×10⁻¹Pa）到分子泵组（最高真空度 5×10⁻⁵Pa），可根据测试需求灵活选择；腔体密封采用氟胶圈，抽气口为 KF16 规格，搭配不锈钢定制腔体可实现超高真空，漏率控制优异，稳定模拟真空气氛环境下的测试条件。
腔体主体采用 AL6061 材质（可定制 SUS304 不锈钢），6 寸外尺寸设计，精密小巧、易于搬运，可灵活放置于实验室、生产线等不同场景；标配 BNC 电信采集接口、6mm 腔体进气口（可定制），φ50mm 样品观察窗，操作便捷，适配各类测试工况的接口与观察需求。
VS21 真空探针台提供 4 探针（VS21-4）、6 探针（VS21-6） 两大基础型号，全系列配件均可按需选配，覆盖探针组件、探针规格、信号线缆、位移座、温控系统、真空系统、观测设备、辅助附件等全品类，实现测试需求的个性化定制。
1. 探针与线缆：可选真空型同轴 / 三轴接口探针夹具，探针镀金处理，规格覆盖 1μm-200μm 多档位，信号线缆分单头甩空线、双头线，适配不同测试精度与接线需求；
2. 温控系统：分高温控制器（常温～450℃）、抽取式 / 增压式高低温控制器（-190℃~450℃），增压式含液氮泵，温控精度更优；
3. 真空系统：含飞跃机械泵、KYKY 分子泵组、莱宝分子泵组，真空度逐级提升，莱宝款搭配复合真空计，可测大气至 5×10⁻⁷Pa；
4. 观测设备：标配体式显微镜，可选 200 万像素 CCD、21 寸戴尔显示器、100 万像素视频显微镜 + 10 寸显示屏，满足不同观测清晰度需求；
5. 辅助附件：可选 20L 液氮杜瓦罐，实现 - 196℃至室温的精准控温，适配超低温测试场景。
1. 材质可定制：腔体默认 AL6061 材质，可定制 SUS304 不锈钢腔体，满足超高真空、强腐蚀等特殊测试环境要求；
2. 接口可定制：腔体进气口默认 6mm，特殊需求可定制，适配不同气源管路连接，提升设备兼容性；
3. 规格全覆盖：从探针数量、探针精度到温控、真空、观测系统，全环节多档位选配，一站式满足半导体、光伏、气敏分析等不同领域的差异化测试需求；
4. 抗干扰性强：可选真空型三轴接口探针夹具，抗干扰能力突出，可应用于半导体及军用级高精度测试场景。
VS21 真空探针台凭借高精度、高可靠性、高定制性的特点，成为多行业测试的核心设备，广泛应用于半导体电学性能测试、物理材料研究、气敏元器件分析、集成电路制造、LED/LCD 生产检测、太阳能电池研发与品控等领域，既适配实验室的科研攻关测试，也可满足生产线的批量检测需求，为各领域的产品研发与质量把控提供精准数据支撑。
