VS21 探针台测试仪

特点：

• 测量温度宽，控温精度高

• XYZ三轴方向移动，定位精度高

• 真空漏率优秀，真空度高        

• 精密小巧，易于搬运

用途：

探针台测试仪，用于芯片，气敏元器件等在不同气氛环境下电学性能，也可用于材料分析。广泛应用于半导体电学性能测试、物理研究，气敏分析、集成电路、LED、LCD、太阳能电池等行业的制造和研究领等系统中的重要部件。

产品指标：